
濺射鈦合金(jin)靶(ba)材(cai)主要(yao)應用(yong)(yong)于(yu)電(dian)子(zi)及(ji)信息(xi)產業,如集成電(dian)路、信息(xi)存儲、液晶(jing)顯示屏、激光存儲器、電(dian)子(zi)控(kong)制器件等(deng);亦可(ke)應用(yong)(yong)于(yu)玻璃(li)鍍(du)膜領域;還可(ke)以應用(yong)(yong)于(yu)耐磨材(cai)料、高溫耐蝕、高檔裝飾用(yong)(yong)品等(deng)行業。其(qi)中靶(ba)材(cai)就是做芯(xin)片的(de)重(zhong)要(yao)材(cai)料。最知名的(de)就是國(guo)外芯(xin)片——英(ying)偉達,一(yi)直屬于(yu)行業龍頭(tou)老大。但是隨著中國(guo)的(de)實(shi)力(li)日漸強度,我們的(de)華為已經自主的(de)研(yan)發(fa)生產出與(yu)之抗衡的(de)電(dian)子(zi)芯(xin)片。徹底打破了一(yi)直采用(yong)(yong)國(guo)外技術的(de)這一(yi)現象。
像超大規模集成電(dian)路芯片制造領域是(shi)濺(jian)射靶(ba)材(cai)最(zui)高端的(de)應(ying)用,其對濺(jian)射靶(ba)材(cai)金屬純度(du)的(de)要(yao)(yao)求(qiu)最(zui)高,通(tong)常要(yao)(yao)求(qiu)達到(dao)99.9995%(5N5)以上,平板顯示(shi)器、太陽能電(dian)池用鋁靶(ba)的(de)金屬純度(du)略(lve)低,分別(bie)要(yao)(yao)求(qiu)達到(dao)99.999%(5N)、99.995%(4N5)以上達到(dao)99.999(而(er)一(yi)般金屬也就99.8的(de)純度(du))。